電子廠車(chē)間的凈化特點(diǎn)主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:
首先,車(chē)間需要保持恒溫與良好的通風(fēng)環(huán)境。這是因?yàn)樵S多電子產(chǎn)品對(duì)溫度和濕度非常敏感,因此潔凈廠房的溫度、相對(duì)濕度和空氣流速都需達(dá)到一定的要求以保證產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定性和一致性。例如,半導(dǎo)體行業(yè)通常要求的塵埃粒子等級(jí)為10級(jí)到100級(jí)別甚至更高,空氣中允許顆粒數(shù)約為352個(gè)/m3。此外,為了保證無(wú)塵空間的需求,一般會(huì)采用機(jī)械送風(fēng)裝置取代傳統(tǒng)的天花板空調(diào)系統(tǒng)。