電子廠車間的凈化原理主要包括空氣過(guò)濾和物理分隔。
首先,精密的層流罩送風(fēng)方式采用了微正壓形式(即壓力為正值),而且安裝精度要求極高。這種方式的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)組合上較為靈活、可拆卸并易于移動(dòng)布置;而缺點(diǎn)則主要表現(xiàn)在對(duì)制作材料的要求較高上面。其內(nèi)部的初效板材厚度一般在1.5~3mm之間選取,采用中密度≥0.86g/cm3(絕干)的阻燃型玻璃纖維料模塑固化而成片狀無(wú)紡布作為背襯材料的支撐元件之一。整個(gè)系統(tǒng)都需進(jìn)行嚴(yán)格的密封性能試驗(yàn)且必須保證在常溫下不漏氣才可通過(guò)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)!